(1) چرخش ریز و حفاری ریز: این تکنیک برای پردازش اکثر قطعات آلیاژ سبک با کیفیت (آلیاژ آلومینیوم یا منیزیم و غیره) برای هواپیماها استفاده می شود. معمولاً از ابزارهای الماس تک کریستالی طبیعی با شعاع قوس تیغه ای کمتر از 0.1 میکرون استفاده می شود. یک ماشین تراش با دقت بالا ممکن است دقت مختصاتی را به 2± میکرون، ناهمواری سطح با میانگین اختلاف ارتفاع 0.2 0 میکرون و دقت 1 میکرون در ماشینکاری برسد.
(2) آسیاب ریز: برای ایجاد اجزای ساختاری با اشکال پیچیده از آلومینیوم یا آلیاژ بریلیم استفاده می شود. با تکیه بر ریل راهنمای ماشین ابزار و دقت دوک می توان به دقت موقعیت متقابل بالاتری دست یافت. یک سطح آینه عالی ممکن است با فرزکاری با سرعت بالا با سر الماسی که به دقت تراش خورده است ایجاد شود.
(3) سنگ زنی ریز: برای ماشینکاری شفت ها یا اجزای سوراخ استفاده می شود. اکثر این قطعات از فولاد بسیار سخت شده ساخته شده اند. برای ایجاد پایداری عالی، اکثر دوک های ماشین سنگ زنی با دقت بالا از یاتاقان های مایع فشار هیدرواستاتیک یا دینامیکی استفاده می کنند. دقت نهایی سنگ زنی تحت تأثیر عوامل متعددی از جمله انتخاب و متعادل کردن چرخ سنگ زنی، دقت سوراخ مرکزی قطعه کار در حین ماشینکاری، و استحکام دوک و بستر ماشین ابزار قرار دارد. دقت ابعادی 1 میکرون و غیر گرد بودن 0.5 میکرون هر دو با آسیاب ریز قابل دستیابی هستند.
(4) سنگ زنی: با استفاده از سنگ زنی متقابل قطعات جفت شده، برجستگی های نامنظم روی سطحی که قرار است درمان شوند به صورت انتخابی پردازش می شوند. این دقیق ترین فرآیند ماشینکاری است که اکنون در فناوری ماشینکاری دقیق موجود است زیرا امکان کنترل کامل نیروی برش، حرارت برش و قطر ذرات ساینده را فراهم می کند. قطعات یاتاقان موتور ژیروسکوپی با فشار دینامیکی، قطعات منطبق هیدرولیک یا پنوماتیک و قطعات سروو دقیق هواپیما همگی به این ترتیب برای به دست آوردن دقت 0.1 یا حتی 0 استفاده میشوند.{5} }}1 میکرون و ناهمواری کوچک 0.005 میکرون.